ESD控制程序的內(nèi)容主要有以下幾點(diǎn):
1、清晰識(shí)別靜電防護(hù)區(qū)域,任何人進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域前,需采取ESD預(yù)防措施的警示;
2、定義靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)的管理性與技術(shù)性控制要求;
3、ESD敏感器件從ESD防護(hù)包裝中拆封或容器中取出,應(yīng)在靜電防護(hù)區(qū)域或工作站內(nèi)進(jìn)行;
4、人員操作ESD敏感器件時(shí)應(yīng)予以接地。坐姿操作時(shí),必須佩戴防靜電手腕帶,并插入連接公共接地端的插座內(nèi);
5、ESD防護(hù)工作臺(tái)表面,應(yīng)清除非生產(chǎn)所必須的絕緣物料;
6、ESD臺(tái)墊與其他ESD控制物料的表面應(yīng)定期進(jìn)行清潔;
7、在靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi),工作表面與存放表面覆蓋靜電耗散性材料,并安裝接地,禁止拖鏈?zhǔn)降慕拥胤绞剑?/p>
8、以醒目的符號(hào),識(shí)別出所有ESD敏感器件,在靜電防護(hù)區(qū)域外的存放與轉(zhuǎn)移,ESD敏感器件用靜電屏蔽袋或其他導(dǎo)電性或屏蔽性的容器,進(jìn)行封裝;
9、生產(chǎn)所必須的絕緣物料或其他工序中產(chǎn)生的靜電,應(yīng)用離子化予以中和。離子化裝置應(yīng)定期進(jìn)行測(cè)試,以確保其靜電消除性能與離子平衡度;
10、確定ESD防護(hù)物料均符合ESD控制要求,例如防靜電手腕帶、ESD臺(tái)面、地板、工作服、手套、包材、離子風(fēng)機(jī)等,并定義其ESD控制的符合性驗(yàn)證計(jì)劃;
11、接地系統(tǒng)應(yīng)定期進(jìn)行測(cè)試,保留測(cè)試記錄,例如防靜電手腕帶、防靜電鞋、防靜電地板、工作臺(tái)面、設(shè)備接地等;
12、對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)并測(cè)試,以確保他們理解ESD控制的重要性,以及如何執(zhí)行符合ESD控制要求的操作方法;
13、對(duì)靜電防護(hù)區(qū)域進(jìn)行定期的審核與檢查。