?電子工業(yè)過(guò)程中產(chǎn)生靜電危害的情況主要包括半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)、電子元件的搬運(yùn)、安裝、調(diào)試及檢驗(yàn)過(guò)程。?
在半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)行業(yè)中,由于這些器件具有導(dǎo)線(xiàn)間距短、線(xiàn)細(xì)、集成度高、運(yùn)算速度快、低功率和輸入阻抗高的特點(diǎn),因此對(duì)靜電越來(lái)越敏感。靜電放電是導(dǎo)致元器件擊穿危害和對(duì)電子設(shè)備的運(yùn)行產(chǎn)生干擾的主要原因。在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,從元器件的預(yù)處理、安裝、焊接、清洗、至單板測(cè)試、總測(cè)、直到包裝、儲(chǔ)存、發(fā)送等工序,都可能產(chǎn)生對(duì)器件的靜電放電擊穿危害。因此,靜電防護(hù)在電子制造過(guò)程中顯得尤為重要?。
除了生產(chǎn)過(guò)程,電子元件在搬運(yùn)過(guò)程中也可能因?yàn)槟Σ?、振?dòng)或沖擊產(chǎn)生ESD損害。這種損害包括即時(shí)失效和延時(shí)失效,前者指一次性造成電子元器件介質(zhì)擊穿或燒毀的永久性失效,后者則可能導(dǎo)致器件性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降,仍可能通過(guò)所有檢驗(yàn)和測(cè)試,但在使用過(guò)程中會(huì)過(guò)早出現(xiàn)故障和失效?。
電子元件的安裝、調(diào)試及檢驗(yàn)過(guò)程中,如果不消除靜電,將會(huì)影響生產(chǎn)或降低產(chǎn)品質(zhì)量。尤其是在電子設(shè)備的故障或誤動(dòng)作方面,靜電放電可能引起電磁干擾,影響生產(chǎn)效率。此外,靜電放電還可能導(dǎo)致集成電路和精密電子元器件發(fā)生故障或促進(jìn)元器件老化,降低產(chǎn)量?。
綜上所述,電子工業(yè)過(guò)程中,從半導(dǎo)體器件和集成電路的生產(chǎn)到電子元件的搬運(yùn)、安裝、調(diào)試及檢驗(yàn)等各個(gè)環(huán)節(jié),都存在靜電危害的可能性,因此采取有效的靜電防護(hù)措施至關(guān)重要