隨著工業(yè)生產(chǎn)自動化率的提升,生產(chǎn)過程中的自動傳送裝置也是越來越多,傳送裝置與工件在工作中摩擦產(chǎn)生的電荷逐漸積累,如果不進(jìn)行有效的處理,最終很有可能導(dǎo)致電子元器件被靜電擊穿或者靜電太大吸附灰塵進(jìn)而造成產(chǎn)品損壞或者質(zhì)量下降。
在工業(yè)生產(chǎn)中,靜電無處不在,其中最容易產(chǎn)生的就是摩擦靜電和分離靜電,特別是在濕度低于20%RH的生產(chǎn)環(huán)境中,基本上只要物體之間有任何微小的相對運(yùn)動都會產(chǎn)生大量靜電。對于大部分電子元器件而言,在靜電電壓超過+/-1000V的時(shí)候元器件很容易被擊穿造成不可逆損傷,所以為了安全起見,半導(dǎo)體/LCD行業(yè)中一般要求將關(guān)鍵工藝中的靜電電壓控制在+/-100V以內(nèi)。
因?yàn)楣I(yè)生產(chǎn)中造成產(chǎn)品不良的外部干擾因素太多,現(xiàn)實(shí)的工業(yè)生產(chǎn)過程中無法找到統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)來評估靜電給產(chǎn)品質(zhì)量所造成的間接影響,所以工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)對靜電的基本準(zhǔn)則就是“寧肯錯殺一千,不能放過一個(gè)”。經(jīng)過多年的發(fā)展,靜電防護(hù)的措施逐漸發(fā)展完善,既有被動防御方法(靜電耗散、靜電泄放、靜電屏蔽、環(huán)境加濕等),也有主動去除方法(靜電中和)。
其中被動防御只能通過設(shè)備改裝以及環(huán)境控制來進(jìn)行,但一旦靜電形成,這些被動防御措施將很難有效的降低靜電危害,所以長期以來,除了在材料、環(huán)境、設(shè)備接地等方面改進(jìn)工藝之外,生產(chǎn)廠家一般最注重的還是主動除靜電方法,其中應(yīng)用最廣的就是電暈放電法(離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)棒)。